Keramički grijač oblatne AlN grijač od aluminija

Keramički grijač oblatne AlN grijač od aluminija
U proizvodnji poluprovodnika, pločice se moraju obrađivati ​​različitim procesima, kao što su nanošenje tankih filmova, nagrizanje itd. U ovim slučajevima, pločice se moraju zagrijati na određenu temperaturu, a postoje strogi zahtjevi za temperaturu, jer ujednačenost temperature ima vrlo važan utjecaj na prinos proizvoda, a komponente za grijanje su nezamjenjive.

Keramički grijačse direktno nanosi na procesnu komoru i u direktnom je kontaktu sa pločicom. Oni ne samo da nose pločicu, već i osiguravaju da pločica postigne stabilnu i ujednačenu procesnu temperaturu. Oni su ključne komponente u opremi za nanošenje tankih filmova poluprovodnika!

Keramički grijač uključuje keramičku bazu koja podržava pločicu i cilindrično potporno tijelo na stražnjoj strani koje ga podržava. Pored otpornog elementa (sloja za grijanje) za grijanje, unutar ili na površini keramičke baze nalaze se i radiofrekventne elektrode (RF sloj). Da bi se postiglo brzo zagrijavanje i hlađenje, debljina keramičke baze treba biti tanka, ali previše tanka će također smanjiti krutost.

Nosač keramičkog grijača je uglavnom napravljen od keramičkog materijala sa koeficijentom termičkog širenja sličnim onome kod baze. Grijač ima jedinstvenu strukturu donjeg spoja osovine kako bi zaštitio terminale i žice od uticaja plazme i korozivnih hemijskih gasova. Nosač je opremljen ulaznom i izlaznom cijevi za prenos toplote kako bi se osigurala ujednačena temperatura grijača. Baza i nosač su hemijski povezani vezivnim slojem.

Keramički grijač može biti napravljen od keramike kao što su aluminijev nitrid (AlN), silicijum nitrid (Si3N4) i aluminijev oksid (Al2O3). Među njima, AlN je najbolji izbor za keramičke grijače. U poređenju s drugim materijalima, AlN keramika kompanije VET Energy ima sljedeće karakteristike:
(1) Dobra toplotna provodljivost;
(2) Koeficijent termičkog širenja usklađen sa poluprovodničkim silicijumskim materijalima;
(3) Dobra mehanička svojstva, odlična otpornost na habanje i sveobuhvatna mehanička svojstva su bolja od berilijum oksida i ekvivalentna aluminijum oksidu;
(4) Odlična sveobuhvatna električna svojstva, odlična električna izolacija i niski dielektrični gubici;
(5) Netoksično i ekološki prihvatljivo.